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電子行業對於電子無塵車間的要求

電子行業對於電子無塵車間的要求:無塵車間也叫潔淨廠房、潔淨室、無塵室♤電子工廠生產工藝分類眾多♤有集成電路生產(分為光掩膜、前道工序、後道工序)♤平南顯示器生產(分為LCD♤PDP,TFT,VFD,顯像管)♤矽材料 生產(單晶矽、多晶矽)♤光纖生產♤製卡業♤表麵貼裝(SMT)♤分離器件生產(功率一、二、三級管♤電容、電阻)♤整機組裝生產(機頂盒、數字投影儀、電子數碼相機)♤自控元器件生產(傳感器、執行機構)等

由於生產工藝種類繁多♤對潔淨度等級要求也不同♤高的很高♤低的很低對粒子粒徑控製的要求也不同♤範圍約為0.1~5um對溫濕度控製的要求相對較 高♤如集成電路前道工序一般要求室內溫度基數為22℃(精度±0.1~±1℃)♤相對濕度基數為40%(精度±2~±5℃正壓值要求的梯度級別♤隨著潔淨度的變化而從高到低變化♤差值5~10Pa電子行業無塵車間的冷負荷比其他行業的無塵車間大很多♤單位冷負荷達400~500W/㎡很常見由於冷負荷大♤一般情況下♤冬季也需要供冷♤這是電子行業的特點電子行業生產工藝過程產生的有毒有害氣體種類繁多♤且量也大♤所以需要的排風量和新風量也大新排風的節能措施也是行業特點之一♤排放前要做處理♤使排風負荷環保要求

 

電子行業生產工藝有抗靜電、抗微振的要求♤並且大宗氣體和特種氣體種類多♤對純度和潔淨度要求高

1.電子製造廠萬級潔淨室內的噪聲級(空態)不應大於65dB(A)

2.電子製造廠潔淨室與室外的靜壓差不應小於10Pa♤不同空氣潔淨度的潔淨區與非潔淨區之間的靜壓差不應小於5Pa

3.電子製造行業萬級潔淨室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值

4.電子製造廠潔淨室垂直流潔淨室滿布比不應小於60%♤水平單向流潔淨室不應小於40%♤否則就是局部單向流了

5.保證供給潔淨室內每人每小時的新鮮空氣量不小於40m3

6.補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和

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